集成電路市場巨大，半導體設備銷售受限，直線電機及光刻機如何破局重生

文章來源：東莞希思克傳動科技有限公司    發布日期：2020-3-25    瀏覽：1437次

2018年中國半導體設備市場容量為868億美金，產出率為13%，在集成電路芯片領域甚至是更低，約為5%。針對關鍵技術被卡脖子的困境，中國唯有自身研制開發才是攻克之法，國家大股票基金二期宣布在這種現象下問世的。

國家大股票基金二期潛心項目投資的重中之重領域之一就是說半導體設備設備，例如光刻技術、刻蝕機、塑料薄膜設備、檢測設備等，其生產加工精度能夠做到亞μm級甚至是納米級，在這類精度規定下，一般的馬達沒辦法符合要求。當下，最優秀的光刻機、封裝檢測設備、激光切割設備等均選用直線電機做為傳動裝置。

直線電機是一種將電能直接轉化成直線運動機械動能，而無需任何中間轉化機構的傳動裝置。它能夠看作是一臺旋轉電機按徑向割開，并生成成平面。在直線電機中，等于旋轉電機定子的，叫初中級，等于旋轉馬達轉子的，叫次級線圈。初級中通以交流，次級線圈就在電磁力的功效下順著初級做勻速直線運動。

在ic芯片制造加工廠，高精度光刻技術一般放置在10層凈化室，直線電機用于xy定位平臺，納米像素維持亞m層精度。除此之外直線電機在控制面板、診療等領域也愈來愈火爆，由于相對于過去的旋轉馬達，直線電機具備非常大的優點，詳細如下：

構造簡易，體型小。直線電機根據以較少的零部件數量來保持直線驅動，并且是只存有一個運動的配件；

維護保養簡易，使用期長。因為配件少，運動時無機械設備觸碰，進而大幅度降低了零部件的損壞，只需非常少甚至是無需維護保養，使用期更長；

行程大。運作的行程在基礎理論上是不會受到其他限定，并且其特性不容易由于其行程的尺寸更改而遭受干擾；

滑動摩擦力不大。沒有機械設備觸碰，傳動力是在氣隙中生成的，除去直線電機直線導軌之外沒有其他的磨擦；

瞬時速度非常大。最大的達到10g；

運動穩定。這是由于除去起支撐作用的直線滑軌或氣浮滾動軸承外，沒有其他機械連接或轉化設備的原因；

轉速運作區間大。其運行能夠給出很寬的轉速運作區間，其覆蓋包涵從每秒鐘幾微米到數米，尤其是在髙速情況下是其一個顯著的優勢；

精度和反復精度高。由于清除了干擾精度的環節，系統的精度在于位置檢驗部件，有恰當的反饋設備可達亞μm級甚至是納米級。直線電機的精度特性要大大好于旋轉電機+滾珠絲桿。

環境污染小，可運用在凈化室。直線電機無需潤滑液。潤滑液也屬于污染物。

當下直線電機70%之上的銷售市場主要被毆美日企業品牌占有，如力土樂Rexroth、科爾摩根Kollmogen、派克Parker、西門子PLCSiemens、安川電機Yaskawa、山洋馬達Sanyo等企業品牌，中國僅有雅科貝思、上銀、天雄等個別企業品牌，并且在質量上仍沒法與國際品牌市場競爭。

將來，隨著智能制造系統和高新技術設備的大區間運用，對設備明確提出了更高的精度規定，直線電機在其中發揮越來越重要的效果。特別是在是在半導體設備領域，為了攻克海外封禁，唯有研制開發自有品牌的高精度直線電機及光刻技術、刻蝕機、薄膜設備等半導體關鍵設備才可以使我國的半導體產業鏈不會受到海外牽制，順利讓中國人用到“中國芯”。

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